Klima Sistemi İçin İkincil Dönüş Havası Şeması

Nispeten küçük temiz oda alanına ve sınırlı dönüş hava kanalı yarıçapına sahip mikro elektronik atölye, klima sisteminin ikincil dönüş hava şemasını benimsemek için kullanılır. Bu şema ayrıca yaygın olarak şu şekilde kullanılır:temiz odalarDiğer endüstrilerde, örneğin ilaç ve tıbbi bakımda. Çünkü temiz oda sıcaklığı nem gereksinimlerini karşılamak için gereken havalandırma hacmi genellikle temizlik seviyesine ulaşmak için gereken havalandırma hacminden çok daha azdır, bu nedenle besleme havası ile dönüş havası arasındaki sıcaklık farkı küçüktür. Birincil dönüş havası şeması kullanılırsa, besleme havası durum noktası ile klima ünitesinin çiğ noktası arasındaki sıcaklık farkı büyüktür, ikincil ısıtma gerekir, bu da hava işleme sürecinde soğuk ısının dengelenmesine ve daha fazla enerji tüketimine neden olur. İkincil dönüş havası şeması kullanılırsa, ikincil dönüş havası birincil dönüş havası şemasının ikincil ısıtmasını değiştirmek için kullanılabilir. Birincil ve ikincil dönüş havası oranının ayarlanması ikincil ısının ayarlanmasından biraz daha az hassas olsa da, ikincil dönüş havası şeması küçük ve orta ölçekli mikro elektronik temiz atölyelerde bir klima enerji tasarrufu önlemi olarak yaygın olarak kabul görmüştür.

Örnek olarak ISO sınıfı 6 mikroelektronik temiz atölyesini ele alalım, temiz atölye alanı 1.000 m2, tavan yüksekliği 3 m. İç tasarım parametreleri sıcaklık tn = (23 ± 1) ℃, bağıl nem φn = %50 ± %5; Tasarım hava besleme hacmi 171.000 m3/h, yaklaşık 57 h-1 hava değişim süresi ve temiz hava hacmi 25.500 m3/h'dir (bunun işlem egzoz hava hacmi 21.000 m3/h'dir ve geri kalanı pozitif basınç kaçak hava hacmidir). Temiz atölyedeki duyulur ısı yükü 258 kW'tır (258 W/m2), klimanın ısı/nem oranı ε = 35.000 kJ/kg'dir ve odanın dönüş havasının sıcaklık farkı 4,5 ℃'dir. Bu sırada, birincil dönüş hava hacmi
Bu, şu anda mikroelektronik endüstrisi temiz odasında en yaygın kullanılan arıtma klima sistemi biçimidir, bu sistem türü esas olarak üç türe ayrılabilir: AHU+FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (Kuru bobin) +FFU. Her birinin avantajları ve dezavantajları ve uygun yerleri vardır, enerji tasarrufu etkisi esas olarak filtrenin ve fanın ve diğer ekipmanların performansına bağlıdır.

1) AHU+FFU sistemi.

Bu tip sistem modu mikroelektronik endüstrisinde “klima ve arıtma aşamasını ayırma yolu” olarak kullanılır. İki durum olabilir: birincisi, klima sisteminin yalnızca temiz hava ile ilgilenmesi ve arıtılmış temiz havanın temiz odanın tüm ısı ve nem yükünü taşıması ve temiz odanın egzoz havasını ve pozitif basınç kaçağını dengelemek için ek hava görevi görmesidir, bu sisteme MAU + FFU sistemi de denir; diğeri ise, temiz hava hacminin tek başına temiz odanın soğuk ve ısı yükü ihtiyaçlarını karşılamaya yetmemesi veya temiz havanın dış ortamdan işlenerek gerekli makinenin çiğ noktası özgül entalpi farkının çok büyük olması ve iç havanın bir kısmının (dönüş havasına eşdeğer) klima arıtma ünitesine geri döndürülmesi, ısıtma ve nem arıtma için temiz hava ile karıştırılması ve ardından hava besleme plenumuna gönderilmesidir. Kalan temiz oda dönüş havasıyla (ikincil dönüş havasına eşdeğer) karıştırılarak FFU ünitesine girer ve ardından temiz odaya gönderir. 1992'den 1994'e kadar, bu makalenin ikinci yazarı bir Singapurlu şirketle işbirliği yaptı ve 10'dan fazla lisansüstü öğrenciyi, ikinci tür arıtma klima ve havalandırma sistemini benimseyen ABD-Hong Kong ortak girişimi SAE Electronics Factory'nin tasarımına katılmaya yönlendirdi. Projenin yaklaşık 6.000 m2'lik (1.500 m2'si Japonya Atmosfer Ajansı tarafından sözleşmeli) bir ISO Sınıf 5 temiz odası vardır. Klima odası, dış duvar boyunca temiz oda tarafına paralel olarak ve yalnızca koridora bitişik olarak düzenlenmiştir. Temiz hava, egzoz havası ve dönüş havası boruları kısadır ve düzgün bir şekilde düzenlenmiştir.

2) MAU+AHU+FFU şeması.

Bu çözüm, çoklu sıcaklık ve nem gereksinimleri ve ısı ve nem yükünde büyük farklılıklar olan ve temizlik seviyesi de yüksek olan mikroelektronik tesislerinde yaygın olarak bulunur. Yazın, temiz hava sabit bir parametre noktasına soğutulur ve nemi alınır. Genellikle temiz havayı, temsili sıcaklık ve neme sahip temiz odanın veya en büyük temiz hava hacmine sahip temiz odanın izometrik entalpi çizgisinin ve %95 bağıl nem çizgisinin kesişim noktasına işlemek uygundur. MAU'nun hava hacmi, havayı yenilemek için her temiz odanın ihtiyaçlarına göre belirlenir ve gerekli temiz hava hacmine göre borularla her temiz odanın AHU'suna dağıtılır ve ısıtma ve nem işlemi için bir miktar iç mekan dönüş havasıyla karıştırılır. Bu ünite, hizmet verdiği temiz odanın tüm ısı ve nem yükünü ve yeni romatizma yükünün bir kısmını taşır. Her AHU tarafından işlenen hava, her temiz odadaki besleme hava plenumuna gönderilir ve iç mekan dönüş havasıyla ikincil karıştırma işleminden sonra FFU ünitesi tarafından odaya gönderilir.

MAU+AHU+FFU çözümünün temel avantajı, temizlik ve pozitif basıncı sağlamanın yanı sıra, her temiz oda işleminin üretimi için gereken farklı sıcaklıkları ve bağıl nemi de sağlamasıdır. Ancak, genellikle kurulan AHU sayısı nedeniyle, oda alanı büyüktür, temiz oda taze havası, dönüş havası, hava besleme boru hatları çaprazlamadır, geniş bir alanı kaplar, düzen daha zahmetlidir, bakım ve yönetim daha zor ve karmaşıktır, bu nedenle, kullanımı önlemek için mümkün olduğunca özel gereksinimler yoktur.