İklimlendirme Sistemi İçin İkincil Dönüş Havası şeması

Nispeten küçük temiz oda alanına ve sınırlı dönüş hava kanalı yarıçapına sahip mikro elektronik atölyesi, iklimlendirme sisteminin ikincil dönüş havası şemasını benimsemek için kullanılır. Bu şema aynı zamanda yaygın olarak kullanılmaktadır.temiz odalarilaç ve tıbbi bakım gibi diğer endüstrilerde. Temiz oda sıcaklığı nemi gereksinimlerini karşılayacak havalandırma hacmi genellikle temizlik seviyesine ulaşmak için gereken havalandırma hacminden çok daha az olduğundan, besleme havası ile dönüş havası arasındaki sıcaklık farkı küçüktür. Birincil dönüş havası şeması kullanılırsa, besleme havası durum noktası ile klima ünitesinin çiğlenme noktası arasındaki sıcaklık farkı büyüktür, ikincil ısıtmaya ihtiyaç duyulur, bu da hava arıtma prosesinde soğuk ısı dengelemesine ve daha fazla enerji tüketimine neden olur . İkincil dönüş havası şeması kullanılıyorsa, ikincil dönüş havası, birincil dönüş havası planının ikincil ısıtmasının yerine kullanılabilir. Birincil ve ikincil dönüş havası oranının ayarlanması, ikincil ısının ayarlanmasından biraz daha az hassas olmasına rağmen, ikincil dönüş havası planı, küçük ve orta ölçekli mikro elektronik temiz atölyelerde iklimlendirme enerji tasarrufu önlemi olarak geniş çapta kabul görmüştür. .

Örnek olarak ISO sınıfı 6 mikroelektronik temiz atölyesini ele alalım; temiz atölye alanı 1 000 m2, tavan yüksekliği 3 m'dir. İç tasarım parametreleri şunlardır: sıcaklık tn= (23±1) °C, bağıl nem φn=50%±5%; Tasarım hava besleme hacmi 171.000 m3/saat, yaklaşık 57 saat-1 hava değişim süresi ve temiz hava hacmi 25.500 m3/saattir (bunun proses atık hava hacmi 21.000 m3/saattir ve geri kalanı pozitif basınç sızıntısı hava hacmi). Temiz atölyedeki duyulur ısı yükü 258 kW (258 W/m2), klimanın ısı/nem oranı ε=35 000 kJ/kg ve odanın dönüş havasının sıcaklık farkı 4,5 OC'dir. Bu sırada birincil dönüş havası hacmi
Bu, şu anda mikroelektronik endüstrisi temiz odasında en yaygın olarak kullanılan arıtma klima sistemi biçimidir; bu tür sistemler temel olarak üç türe ayrılabilir: AHU+FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (Kuru bobin) +FFU. Her birinin avantajları, dezavantajları ve uygun yerleri vardır; enerji tasarrufu etkisi esas olarak filtrenin, fanın ve diğer ekipmanların performansına bağlıdır.

1) AHU+FFU sistemi.

Bu tip sistem modu mikroelektronik endüstrisinde “iklimlendirme ve arıtma aşamasını ayırmanın yolu” olarak kullanılmaktadır. İki durum söz konusu olabilir: Birincisi, iklimlendirme sisteminin sadece taze hava ile ilgilenmesi ve arıtılmış taze havanın, temiz odanın tüm ısı ve nem yükünü taşıması ve egzoz havasını ve pozitif basınç kaçağını dengelemek için ek hava görevi görmesidir. Temiz odanın bu sistemine MAU+FFU sistemi de denir; Diğeri ise taze hava hacminin tek başına temiz odanın soğuk ve ısı yükü ihtiyacını karşılamaya yeterli olmaması veya taze havanın dış ortamdan işlenmesi nedeniyle gerekli makinenin çiğ noktasına özgü entalpi farkının çok büyük olmasıdır. ve iç mekan havasının bir kısmı (dönüş havasına eşdeğer) klima arıtma ünitesine geri gönderilir, ısı ve nem işlemi için temiz hava ile karıştırılır ve ardından hava besleme plenumuna gönderilir. Kalan temiz oda dönüş havasıyla (ikincil dönüş havasına eşdeğer) karışarak FFU ünitesine girer ve ardından temiz odaya gönderir. 1992'den 1994'e kadar, bu makalenin ikinci yazarı Singapurlu bir şirketle işbirliği yaptı ve 10'dan fazla yüksek lisans öğrencisinin, ikinci tür arıtma iklimlendirmesini benimseyen ABD-Hong Kong ortak girişimi SAE Elektronik Fabrikası'nın tasarımına katılmasına yol açtı. havalandırma sistemi. Projede yaklaşık 6.000 m2'lik (1.500 m2'si Japonya Atmosfer Ajansı tarafından ihale edilen) ISO Sınıf 5 temiz odaya sahiptir. Klima odası dış duvar boyunca temiz oda tarafına paralel ve sadece koridora bitişik olarak düzenlenmiştir. Taze hava, egzoz havası ve dönüş havası boruları kısa ve düzgün bir şekilde düzenlenmiştir.

2) MAU+AHU+FFU şeması.

Bu çözüm, çoklu sıcaklık ve nem gereksinimleri olan ve ısı ve nem yükünde büyük farklılıklar olan mikroelektronik tesislerinde yaygın olarak bulunur ve temizlik seviyesi de yüksektir. Yaz aylarında temiz hava sabit bir parametre noktasına kadar soğutulur ve nemi alınır. Temiz havanın izometrik entalpi çizgisi ile temsili sıcaklık ve neme sahip temiz odanın veya en büyük taze hava hacmine sahip temiz odanın %95 bağıl nem çizgisinin kesişme noktasına kadar işlenmesi genellikle uygundur. MAU'nun hava hacmi, havayı yenilemek için her temiz odanın ihtiyacına göre belirlenir ve gerekli taze hava hacmine göre her temiz odanın klima santraline borularla dağıtılır ve ısıtma için bir miktar iç dönüş havası ile karıştırılır. ve nem tedavisi. Bu ünite, hizmet verdiği temiz odanın tüm ısı ve nem yükünün yanı sıra yeni romatizma yükünün bir kısmını da taşımaktadır. Her bir AHU tarafından işlenen hava, her bir temiz odadaki besleme havası plenumuna gönderilir ve iç mekan dönüş havasıyla ikincil karışımın ardından FFU ünitesi tarafından odaya gönderilir.

MAU+AHU+FFU çözümünün temel avantajı, temizlik ve pozitif basınç sağlamanın yanı sıra, her bir temiz oda prosesinin üretimi için gereken farklı sıcaklıkları ve bağıl nemi de sağlamasıdır. Bununla birlikte, genellikle kurulan klima santrallerinin sayısı nedeniyle oda alanı geniştir, temiz oda temiz havası, dönüş havası, hava besleme boru hatları çaprazdır, geniş bir alan kaplar, yerleşim düzeni daha zahmetlidir, bakım ve yönetim daha zordur ve karmaşık olduğundan, herhangi bir özel gereksinimin kullanımından mümkün olduğu kadar kaçınılmalıdır.