Yarı iletken

BSLtech Yarı İletken ÇÖZÜMÜ

Yarı iletken endüstrisinde uzmanlığınızı geliştirmek, genellikle yüksek ISO sınıfına (ISO 5 veya daha yüksek) sahip temiz odalar veya laminer akış kabinleri gerektirir. UV'ye duyarlı proseslerle mi uğraşıyorsunuz? O zaman bile BSL doğru temiz odayı sağlıyor. Temiz odalar yüksek kaliteli duvar kaplamasına ve UV filtreli aydınlatmaya sahiptir. Filtre sistemi üzerinde antistatik (ESD) malzemeler ve antistatik çubuklar kullanılarak havadaki statik yük nötralize edilir.

Gazdan arındırma istenmediğinde BSL, gaz çıkarmayan malzemelerden (PU) oluşan bir temiz oda sunar. Bu teknolojinin kökeni havacılık ve uzay endüstrisinden kaynaklanmaktadır.

Yarı iletken endüstrisindeki tipik süreçler:

● Alt tabakaların ve silikon levhaların korunması
● EUV Araştırması
● Maske hizalayıcılar
● Vakumlu kaplama, ince film biriktirme
● Yazdırma uygulamaları
● Optik

Ön uç ve arka uç süreçleri