
BSLtech Yarıiletken ÇÖZÜMÜ
Yarı iletken endüstrisinde uzmanlığınızı geliştirmek genellikle yüksek ISO sınıfına (ISO 5 veya üzeri) sahip temiz odalar veya laminer akışlı dolaplar gerektirir. UV'ye duyarlı proseslerle mi uğraşıyorsunuz? O zaman bile BSL doğru temiz odayı sağlar. Temiz odalar yüksek kaliteli bir duvar kaplamasına sahiptir ve UV filtreli aydınlatmaya sahiptir. Filtre sisteminde anti-statik (ESD) malzemeler ve anti-statik çubuklar kullanılarak havadaki statik yük nötrleştirilir.
Gaz giderme istenmediğinde, BSL gaz çıkarmayan malzemelerden (PU) oluşan bir temiz oda sunar. Bu teknoloji havacılık endüstrisinden kaynaklanmaktadır.
Yarı iletken endüstrisindeki tipik prosesler:
● Alt tabakaların ve silikon levhaların korunması
● EUV Araştırması
● Maske hizalayıcılar
● Vakum kaplama, ince film birikimi
● Baskı uygulamaları
● Optik
Ön uç ve arka uç süreçleri